Yüksek Kapasiteli PID Düzenleme Yarım iletken Fırın SEO Serisi Hava sıklığı

Nitrojen dolu yarı iletken fırının güçlü evrenselliği, yüksek istikrarı ve yüksek performansı vardır.Özel oda yapısı ve mühürleme teknolojisini benimsiyor, yarı iletken ürünlerin yüksek performans gereksinimlerini karşılamak için mükemmel hava sıklığı ve sıcaklık eşitliği ile.IC paketleri (bakır substrat), gümüş jeli, silik jeli, epoksi reçine), cam substrat ve diğer ürünler.
 
Temel Teknoloji:
01 Yüksek performanslı sıcaklık eşitliğini elde etmek için yüksek kapasiteli yatay hava geri dolaşımı sıcak hava sistemi
02 Oda tamamen mühürlenmiş tasarımdır, paslanmaz çelik plakaları kullanır, iyi hava sıkışıklığı, azot tasarrufu sağlar
03 Yüksek güçlü yüksek sıcaklığa dayanıklı uzun eksenli motor ve uzun süre yüksek sıcaklık ortamında istikrarlı çalışabilen büyük boyutlu türbin bıçağı
04 Isıtma hızı kontrol edilebilir, süreç profili ayarlaması için tek tuşlu işlem, soğutma için soğutma sistemi ile, üretim verimliliğini etkili bir şekilde artırabilir
05 Yüksek hassasiyetli sıcaklık kontrolörü, PID ayarlama, kontrol doğruluğu 0.5°C'ye ulaşabilir, güvenilir kontrol, güvenli kullanım
06 Yarım iletken tozsuz atölyeler ve ürünlerin gereksinimlerini karşılamak için verimli temizleme, bin derece temiz oda yaşlanma testi
07 Düşük oksijen içeriği kontrolü, gerçek zamanlı izleme, çift kanal analizi sistemi oksijen içeriği 50PPM içinde kontrol edilebilir
 
Ürün özellikleri:
Yarım iletken fırın odasının yapısı
Üst ve alt kutular sıcak hava dolaşım sistemi ile donatılmıştır, hava hızı ve hacmi ayarlanabilir ve farklı süreç parametreleri bağımsız olarak çalıştırılabilir.Fırın odası yüksek kaliteli paslanmaz çelikten yapılmıştırFırın, alan kullanımını iyileştirmek için katmanlı bracketlerle donatılmıştır.

Yarım iletken fırın azot sistemi
Azotun makul kullanımını ve dengelenmiş dağılımını sağlamak için bağımsız ayar fonksiyonu ile birden fazla akış ölçümcüsü ile donatılmış odanın içindeki azot doldurma.Çeşitli kanal oksijen analizatörü ile, üst ve alt odalardaki oksijen içeriği değerinin gerçek zamanlı izlenmesi ayrı ayrı kontrol edilebilir, tek bir odanın oksijen içeriği 500PPM içinde kontrol edilebilir (opsiyon:100PPM içinde).
 

Yarım iletkenli fırın soğutma sistemi
Su soğutma sistemi benimsenmiştir. kanat radiatörü patlama su soğutma, fırındaki sıcaklık soğutulduğunda, solucan kanat radiatörü ile hızlı bir şekilde ısı değişimi yapar,Bu soğutma süresini büyük ölçüde kısaltır.Eşsiz soğutma sistemi, yüksek sıcaklıkta anında soğutma buhar genişlemesini önler, bu da ürün kalitesini etkili bir şekilde korur.

Yarım iletken FURNA GÖRÜNCÜLÜĞÜ GÖRÜNCÜLÜĞÜ SISTEMİ
Aşırı sıcaklık koruması ile (stüdyo sıcaklığının çok yüksek olmasını önlemek ve ürünü korumak için), aşırı sıcaklık durumu ortaya çıktığında, hemen gücü kesecektir,Aynı anda, personele hatırlatmak için bir alarm var, ürünlerin daha iyi korunması; aşırı oksijen içeriğinin kontrolü ve korunması; azot düşük basınç alarm koruması;üst ve alt kutular elektronik güvenlik kilitleri ile donatılmıştır., ve ekipman acil durma düğmesine sahip.

Yarım iletken fırının açıklığı testi
Testten sonra, 0,5μm parçacık konsantrasyonu ≤35200'dür, bu da bin sınıfı temiz ve tozsuz yüksek temizlik atölyesinin üretim gereksinimlerini karşılar.

Yarım iletken fırının sıcaklık profili testi
Yüksek hassasiyetli sıcaklık kontrolörü, PID düzenleme, yüksek kapasiteli yatay hava recirculation sıcak hava sistemi, yüksek performans sıcaklık eşitliğini sağlayabilir.

 
Ürün parametreleri:

 
İletişim:
1Gaz kaynağı gereksinimleri: Azot çalışma basıncı (kullanım sırasında basınç) > 0,5-0,8Mpa, azot saflığı 99,999%.
2Güç ihtiyaçları:
1Üç fazlı beş tel: voltaj 380V, frekans 50/60HZ;
225mm'den büyük bir tel çapı, 100A sızıntı koruma anahtarı, 150-200mA sızıntı kapasitesi olan sızıntı koruma anahtarı.
3Yer basıncı gereksinimleri: 1000kg/m2.
4Dış havalandırma gereksinimleri: 2-Ø38 mm dış çaplı hava borusu, havalandırma hacmi 2*5M3/min;
5Çevre gereksinimleri: Çevre sıcaklık aralığı 5-40°C arasında ve göreceli nem aralığı 20-95% arasında olmalıdır.